碳化硅是用石英砂、石油焦(或煤焦)、木屑為原料通過(guò)電阻爐高溫冶煉而成。包括黑碳化硅和綠碳化硅,其中:黑碳化硅是以石英砂,石油焦和優(yōu)質(zhì)硅石為主要原料,通過(guò)電阻爐高溫冶煉而成。其硬度介于剛玉和金剛石之間,機(jī)械強(qiáng)度高于剛玉,性脆而鋒利。綠碳化硅是以石油焦和優(yōu)質(zhì)硅石為主要原料,添加食鹽作為添加劑,通過(guò)電阻爐高溫冶煉而成。其硬度介于剛玉和金剛石之間,機(jī)械強(qiáng)度高于剛玉。
綠碳化硅晶體是目前碳化硅應(yīng)用的新技術(shù)產(chǎn)品,具有寬帶隙、高臨界擊穿電場(chǎng)、高熱導(dǎo)率、低介電常數(shù),高載流子飽和濃度等特點(diǎn),成為耐高溫、大功率、耐高壓、抗輻照的半導(dǎo)體器件的優(yōu)選材料,可以滿(mǎn)足現(xiàn)代電子器件對(duì)高溫、高頻、高工、高壓以及抗輻射的新要求,